场发射扫描电镜

一、仪器名称 品牌与型号

场发射扫描电镜 日本HITACHI SU8010

二、基本原理和功能

扫描电镜( SEM) 的工作原理是由电子枪发射出电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，聚焦在样品表面，在第聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析。从材料表面散射出来的二次电子、背散射等电子信号，这些信号电子经探则器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子等的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。

三、技术参数

1 加速电压：0.5 kV~30 kV

2 放大倍数：80万倍

3 分辨率：1.0 nm / 15KV

4 X射线能谱仪分析范围：B5~U92

5 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能，既保证分辨率又减少荷电

四、应用范围

1. 可进行能源、矿物、高分子材料、有机/无机材料、复合等材料，化学、化工、食品、生物、医学、药物、环境、农业、轻工等学科领域的样品测试

2．可观察和分析试样的形貌结构和成分：

颗粒的大小、成分和结构分析

薄膜样品的形貌、结构和成分分析

金属/非金属等块状样品的表面形貌和成分分析

液体（需干燥）样品的形貌、结构和成分分析

EDS（EDX），点扫、面扫、Mapping测试、截面形貌

五、送样要求

(1) 样品必须干燥、无油，粉末状样品装入样品管内保持干燥，质量毫克级即可，液体样品需0.1 mL以上；

(2) 样品表面须处理干净，金属试样表面要清理其污染物；粉末状样品要少粘样并注意分散性、粘牢固；液体试样可以滴到导电性好的基材上（如硅片等），并做好干燥处理；

(3) 测试单请备注详细样品信息（如成分、毒性、磁性、腐蚀性、挥发性等），尤其是磁性样品及含有毒有害、放射性等成分样品需作特殊说明；

(4) 固体样品勿超过1*1cm，固体大块状样品尽量切薄片，以增强样品导电性；

(5) 生物样品需处理、干燥好再送样，需标注样品是否失活；

(6) 请勿浪费导电胶带及液体导电胶，液体导电胶用完请及时封盖；

(7) 镀Au, Pt系统；能容纳样品尺寸φ 60*20（mm）。