XPS指标：
1、配备单色化铝靶和非单色化镁铝靶双阳极，铝靶能量范围：0~1486.6 eV，镁靶能量范围：0~1253.6 eV。单色化铝靶对Ag3d5/2，在能量分辨率≤1 eV时，计数率不低于2,500,000 cps；双阳极靶在分辨率≤1 eV时，计数率不低于7,000,000 cps。通过能从1~400 eV连续可调，调节步长≤1 eV。
2、XPS成像，快速平行成像，对Ag3d5/2，线扫描的最佳空间分辨率优于3 μm。
3、特有分析模式：可对有机物进行O-C=O或C-C峰分析测试。
紫外光电子能谱（UPS）指标：
1、对Ag费米边，能量分辨率≤ 100 meV；
2、在Ag样品上，He I计数率≥ 1,000,000 cps；
3、反射电子能量损失谱（REELS）指标：
电子枪发射的电子最高能量≥1000 eV；在能量分辨率≤ 0.5 eV时，计数率≥ 1,000,000 cps
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